键合机项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称：键合机
1.2 招标编号：0779-22400316A062
1.3 设备概况及技术性能：
1.3.1 设备概况
键合机主要用于微电子微机械芯片研制，采用键合工艺实现器件的密封。可实现阳极键合，熔融直接键合，共晶键合，金属扩散键合，玻璃胶键合等键合工艺。支持多种晶圆键合方式，主要组成部分有控制系统、真空及气氛控制系统、键合腔体、温控系统、压力系统、阳极键合电源系统、键合夹具及备品备件等。
1.3.2 技术性能
1.3.2.1 键合腔体：
（1）键合腔体舱门开启时自动气体吹扫，避免在夹具载入载出时外界环境对工艺舱造成污染；
（2）晶圆夹具通过导轨载入腔体，避免人员接触可能对腔体造成的污染；
1.3.2.2 芯片传输与夹持
（1）传输夹具中心板为碳化硅材质，外围为钛合金材质；传输夹具上具备三个夹爪，位置呈120°角分布，确保夹持稳定性，夹爪前端材质为蓝宝石；
（2）程序设定键合基片厚度后，设备可通过Z轴移动进行自动调节，Z轴为电机驱动，调节精度≤10微米。
1.4 数量：1套。
1.5 交货期：合同签订后9个月之内交货。
1.6 项目现场：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。
2.3本次招标不接受联合体投标。
2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。
3. 招标文件获取
3.1凡有意参加投标者，请于2022年10月26日至2022年11月2日17时(北京时间)，将招标文件购买费用支付至中科信工程咨询（北京）有限责任公司（开户行：华夏银行北京西客站支行；帐号：10235000000047830）后登录航空工业电子采购平台（http://www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线400-890-0880。
3.2 招标文件售价800元，售后不退。
3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。
4. 投标文件的递交
4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2022年11月16日13时30分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（http://www.eavic.com/rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。
4.2 纸质版投标文件递交地点为北京市海淀区金沟河路与采石北路交叉口东南角88号大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
5发布公告的媒介
本次招标公告同时在航空工业电子采购平台电子招投标专区、中招联合招标采购平台、中国国际招标网和中国招标投标公共服务平台上发布。
6.联系方式
招标人名称：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
地址：北京市海淀区太舟坞
联系人：王赛
电话：010-62459043
招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司
地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼
售卖联系人：刘女士
电话：010-88529059
邮箱：zhaobiaobu@zonkex.com
2022年10月26日
